| Magnificación óptica | 3 - 16x |
| Magnificación electrónica | 80 – 100.000x |
| Resolución | ≤ 20 nm |
| Zoom digital | Máx. 12x |
| Cámara de navegación óptica | Color |
| Potenciales de aceleración | 5 kV, 10 kV y 15 kV. En modo avanzado: ajustable entre 4,8 kV y 15 kV en intervalos de 0.1 KV |
| Modos de vacío | Modo estándar. Modo de reducción de carga. Modo de alto vacío |
| Detector | BSD. SED (opcional). EDS (opcional) |
| Tamaño de muestras | Máx. 100 mm x 100 mm. Soportes de muestra de hasta 36 x 12 mm |
| Altura de muestras | Máx. 65 mm |